1、工作條件
1.1 適用于在電源220V（±10%）/50Hz、氣溫?cái)z氏5℃～30℃和相對(duì)濕度85%的環(huán)境條件下運(yùn)行。
1.2 建議安放在防震工作臺(tái)上，環(huán)境清潔。
2、產(chǎn)品特點(diǎn)
2.1本儀器在原有的基礎(chǔ)上進(jìn)行了光學(xué)系統(tǒng)升級(jí)，明場(chǎng)成像更清晰，避免看不清測(cè)量讀數(shù)刻線。
2.2 配備粗微動(dòng)同軸調(diào)焦系統(tǒng)，粗動(dòng)松緊可調(diào)，微動(dòng)格值:2μm，使之更加準(zhǔn)確的找到成像面。
2.3一體化結(jié)構(gòu)機(jī)身，無(wú)需另配變壓電源，操作簡(jiǎn)潔、方便。
2.4非接觸式測(cè)量，不會(huì)破壞樣品表面層，經(jīng)過(guò)計(jì)算后確定紋痕的不平度。
3、主要技術(shù)指標(biāo)
3.1 光學(xué)校正系統(tǒng)：
有限遠(yuǎn)光學(xué)校正系統(tǒng)，,物鏡能獨(dú)立克服軸向和縱向像差，成像清晰，分辨率高。
3.2   測(cè)量參數(shù)
1.測(cè)量范圍不平度平均高度值（微米）： >0.8-1.6    >1.6-6.3    >6.3-20    >20-80
2.表面光潔度（級(jí)別）： 9    8~7        6~5        4~3
3. 所需物鏡： 60X/0.55    30X/0.40      14 X/0.20      7X/0.12
4.總放大倍數(shù)： 510X        260X         120X         60X
5.物鏡組件工作距離（mm）:0．04    0．2    2．5     9．5
6.視場(chǎng)（mm）: 0.3        0.6            1.3        2.5
7.攝影裝置放大倍數(shù):   約6倍
8.測(cè)量不平度范圍:（0.8-80）微米
9..不平寬度：用測(cè)微目鏡：0.7微米-2.5毫米
用座標(biāo)工作臺(tái)：（0.01-13）毫米
2.3外形尺寸
儀器重量約：23公斤，外形尺寸（mm）： 約180*290*470毫米